神秘顾客介绍本发明通过HBT晶体管集成至硅衬底上
2024-01-14(原标题:中芯集成-U请求功率放大器件特殊制备顺次专利神秘顾客介绍,晋升了集成度并镌汰了材料本钱) 金融界2023年12月30日音尘,据国度常识产权局公告,绍兴中芯集成电路制造股份有限公司请求一项名为“一种功率放大器件特殊制备顺次“,公开号CN117316943A,请求日历为2023年10月。 专利提要表现,本发明提供一种功率放大器件特殊制备顺次,所述功率放大器件包括硅衬底和HBT晶体管,所述硅衬底中诞生有凹槽,所述HBT晶体管固定粘结在所述凹槽中,在所述硅衬底上酿成有布线结构,所述布线结构还